ITO旋轉靶/平面靶
產品介紹
ITO靶材是銦錫氧化物功能陶瓷材料，主要用于磁控濺射制備ITO透明導電薄膜。采用最先進的常壓燒結工藝，多個靶管/靶塊拼接貼合為ITO靶材成品。
應用領域
導電玻璃
OLED
觸摸屏
太陽能電池
產品中心
參數規格
| 組份（wt%） | In2O3:SnO2=90:10 |
| 純度（%） | ≥99.99 |
| 密度（g/cm3） | ≥7.13 |
| 相對密度（%） | ≥99.5 |
| 電阻率（Ω·cm） | ≤1.2*10-4 |
| 靶材尺寸 | 旋轉靶每節 300-600（mm） 平面靶單片 400*400（mm2） 可按圖紙要求加工 |
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