產品介紹

AZO靶材是鋅鋁氧化物功能陶瓷材料，主要用于磁控濺射制備AZO透明導電薄膜。以等離子體為熱源將相應粉末加熱到熔融或半熔融狀態并高速沖擊背管表面形成致密涂層，從而制備出高純度、高致密度AZO靶材。

應用領域

薄膜太陽能電池

Low-E鍍膜玻璃

汽車鍍膜玻璃

產品特點

密度高，成膜質量好。

使用功率高，約13kW/m。

濺射速率、使用效率比同類產品高。